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扼要敘述積體電路製程的基本理論。
介紹積體電路製程模擬軟體 SSUPREM 3 的基本使用。
根據積體電路製程的基本理論,設計 44 個 SSUPREM 3 模擬例題。
利用 SSUPREM 3 模擬,配合圖形、表格與數值分析方法討論積體電路製程的原理與參數的計算。
隨書附贈之光碟中包含所有例題之模擬程式及圖形,計算χj、Rs及 Smith 積分之 MATLAB 程式以及 SSUPREM 3的簡易使用說明。
第一章 導 論
第二章 擴 散
第三章 熱氧化
第四章 薄膜沉積
第五章 蝕 刻
第六章 離子佈植
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